炉体设计

通过FEA有限元优化结构设计

全自动主、副室提升、旋转机构

高精度、高负载上下轴设计

高效主真空系统

先进的水冷热屏设计保障提高长晶效率

CFD流道优化设计减少热斑现象的发生

分布式控制系统

标准工业总线

采用可现场更换的通用元器件

采用工控机加PLC保证运行稳定：即使在工控机死机的情况下

仍然可以通过PLC对炉体进行控制

先进可靠的数字闭环控制系统

精密的闭环测量及控制系统保证了晶体生长过程的稳定性、

可靠性及一致性

独特的控制运算法则，预估问题并及时更正

热场设计

采用专业軟件CG Sim优化晶体生长工艺和开发先进热场

全自动生长控制

可以实现单晶生长从抽空一检漏一稳压一熔料一稳温一自动

熔接引颈一放肩一收肩一等径收尾一停炉全过程的自动控制

增强了液口距监测和多次复投料功能的自动化控制

Krystal Vision TM测量系统

500万像素高分辨率大景深CCD一精确的直径测量能力

专业的图像处理器、处理软件和高度集成控制

液口距实时监测，实现精准工艺控制

提供功率拉晶功能，改善温度梯度分布、提高晶体品质